質量流量計，質量流量控制器的流量單位是什么？（slm/sccm）？

氣體質量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標準毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。
...